光學(xué)3D表面輪廓儀

對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。可測(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等

1.半導(dǎo)體減薄片鍍膜片晶圓IC粗糙度、微觀輪廓分析

2.手機(jī)屏 油墨屏粗糙度 、平整度、臺(tái)階高分析

3.精密模具光學(xué)鏡片  粗糙度 平整度 曲率半徑 輪廓分析

4.微納材料鍍膜粗糙度膜層、厚度分析

5.磨損元件  粗糙度 輪廓尺寸面積體積參數(shù)分析

產(chǎn)品功能

1）系統(tǒng)光源及壽命：雙LED光源（白光和綠光），10萬(wàn)小時(shí)超長(zhǎng)壽命，終身無(wú)需更換；

2）測(cè)量模式：垂直掃描干涉模式（VSI），相移干涉模式（PSI），結(jié)合VSI和PSI的自適應(yīng)通用測(cè)量模式（USI）；

3）多區(qū)域自動(dòng)分析：自動(dòng)獲取圖案化形貌區(qū)域的三維信息（高度、寬度、面積、體積、粗糙度、傾角等），同時(shí)具有自動(dòng)統(tǒng)計(jì)分析功能。

4）具備各種類型樣品表面微觀形貌的3D輪廓重建與測(cè)量功能；

5）具備表面粗糙度和微觀輪廓的檢測(cè)功能，粗糙度范圍涵蓋0.1nm到數(shù)十微米的級(jí)別；

6）具備校平、去除形狀、去噪、濾波等數(shù)據(jù)處理功能；

7）具備粗糙度分析、輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、功能分析等表面參數(shù)分析功能；

8）具備自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)測(cè)量、自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量、自動(dòng)拼接測(cè)量等自動(dòng)化功能；

9）具備一鍵分析、多文件分析等快速、批量分析功能；

10）具備word、excel等數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能。

一體化操作的測(cè)量分析軟件

1）測(cè)量與分析同界面操作，無(wú)須切換，測(cè)量數(shù)據(jù)自動(dòng)統(tǒng)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了快速批量測(cè)量的功能；

2）可視化窗口，便于用戶實(shí)時(shí)觀察掃描過(guò)程；

3）幾何分析、粗糙度分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全；

4）一鍵分析、多文件分析，自由組合分析項(xiàng)保存為分析模板，批量樣品一鍵分析，并提供數(shù)據(jù)分析與統(tǒng)計(jì)圖表功能；

5）可測(cè)依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT等標(biāo)準(zhǔn)的多達(dá)300余種2D、3D參數(shù)。

                                                     手機(jī)配件樣品測(cè)試報(bào)告